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產(chǎn)品展示

三豐Mitutoyo顯微鏡O378 187 1

FS-70 378系列-半導(dǎo)體檢測用顯微鏡 日本三豐品牌 MITUTOYO 378-187-1 顯微鏡 特點(diǎn): 1、此光學(xué)系統(tǒng)最初是為了暢銷的FS60型(后升級為FS70型)而開發(fā)的。它作為測量檢測半導(dǎo)體器件的顯微鏡是很理想的。 2、FS70L支持3種YAG激光波長(1064nm,532nm,355nm),F(xiàn)S70L4支持2種波長(532nm,266nm),可在半導(dǎo)體和液晶基板中使用薄膜激

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  • 型號: 三豐Mitutoyo顯微鏡O378 187 1
FS-70

378系列-半導(dǎo)體檢測用顯微鏡

日本三豐品牌 MITUTOYO 378-187-1 顯微鏡

特點(diǎn):

1、此光學(xué)系統(tǒng)最初是為了暢銷的FS60型(后升級為FS70型)而開發(fā)的。它作為測量檢測半導(dǎo)體器件的顯微鏡是很理想的。

2、FS70L支持3種YAG激光波長(1064nm,532nm,355nm),F(xiàn)S70L4支持2種波長(532nm,266nm),可在半導(dǎo)體和液晶基板中使用薄膜激光切割技術(shù)。這就擴(kuò)大了激光的使用范圍。然而,使用三豐量具對顯微鏡的激光系統(tǒng)的性能和安全性,三豐公司不負(fù)責(zé)任。我們推薦在選購激光發(fā)射器時(shí)應(yīng)仔細(xì)檢查。

3、FS70Z的標(biāo)準(zhǔn)功能有:亮視場,微分干涉對比(DIC)和偏振觀測。FS70L和FS70L4不支持DIC。

4、使用內(nèi)置式轉(zhuǎn)換器使得長工作距離物鏡的操作很簡單。

5、極易操作的設(shè)計(jì):FS70采用正像光學(xué)系統(tǒng)(視場中的像與樣品方向相同)并用橡膠把手加大微調(diào)手輪。

技術(shù)參數(shù):

對焦

方法:有同心粗調(diào)和微調(diào)手輪(左和右)

范圍:50mm測量范圍,微調(diào)0.1mm/rev.同心,粗調(diào)3.8mm/rev.

三目鏡筒圖像:正像

瞳距:Siedentopf型

調(diào)節(jié)范圍:51-76mm

視場數(shù):24

俯角:0°-20°(僅用于-TH,-THS型號)

照明系統(tǒng):亮視場反射照明(科勒照明、帶孔徑光闌)

光源:12V100W光纖、無極亮度調(diào)節(jié),光導(dǎo)長度1.5m、功耗150W

物鏡(選件):M Plan Apo,M Plan Apo SL,G Plan Apo

性能參數(shù):

型號

FS70

FS70-TH

FS70Z

FS70Z-TH

FS70L

FS70-TH

FS70L4

FS70L4-TH

貨號

378-184-1

378-184-3

378-185-1

378-185-3

378-186-1

378-186-3

378-187-1

378-187-3



短基座型號

FS70-S

FS70-THS

FS70Z-S

FS70Z-THS

FS70L-S

FS70L-THS

FS70L4-S

FS70L4-THS

貨號

378-184-2

378-184-4

378-185-2

378-185-4

378-186-2

378-186-4

378-187-2

378-187-4

對焦

50mm行程,同心焦距粗調(diào)(3.8mm/rev)和微調(diào)(0.1mm/rev)輪(左、右)

圖像

正像

瞳距

Siedentopf型,調(diào)節(jié)范圍:51-76mm

視場數(shù)

24

俯角

——

0°-20°

——

0°-20°

——

0°-20°

——

0°-20°

透過率

50/50

100/0或

0/100

50/50

100/0或

0/100

100/0或0/100

100/0或0/100

保護(hù)性濾光片

——

——

內(nèi)置激光射線濾光片

內(nèi)置激光射線濾光片

光管鏡頭

1X

1X-2X焦距型

1X

1X

適用激光

——

——

1064/532/355mm

532/266mm

相機(jī)端口

C-mount (使用適配器B選件)

使用帶有電視端口的激光器

C-mount插座(帶有綠色濾光片轉(zhuǎn)換開關(guān))

照明系統(tǒng)(選件)

亮視場反身照明(科勒照明、帶孔徑光闌)

12V 100W光纖、無極亮度調(diào)節(jié)、光導(dǎo)長度:1.5m,功耗150W

物鏡選件(用于觀察)

M Plan Apo,M Plan Apo SL,G Plan Apo



物鏡選件(用于激光切割)

——

M/LCD Plan NIR

M/LCD Plan NU

M Plan UV

載重*

14.5kg

13.6kg

14.1kg

13.2kg

14.2kg

13.5kg

13.9kg

13.1kg

重量(主機(jī))

6.1kg

7.1kg

14.1kg

7.5kg

6.4kg

7.2kg

6.7kg

7.5kg

*光管的載重不包括物鏡鏡頭和目鏡的重量
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